LT-8000 高分辨率深能级瞬态谱DLTS测试分析系统
单（双）脉冲测量系统，脉冲宽度可调，单脉冲宽度范围 1μs～60s
宽测试频率范围：1mHz～5MHz
宽温度范围：4K～800K
高时间分辨率：10μs 内捕获瞬态参数
宽电容测试范围：10fF～1F
高电流测试能力：fA 级电流检测精度
多种数学分析模型：C-DLTS、I-DLTS、O-DLTS、D-DLTS、L-DLTS、DLTFS 等等
驱动电平电容分析（DLCP）测试功能
Semi-Insight Studio 软件：界面直观，操作便捷，自动化测试
宽测试频率范围：1mHz～5MHz
宽温度范围：4K～800K
高时间分辨率：10μs 内捕获瞬态参数
宽电容测试范围：10fF～1F
高电流测试能力：fA 级电流检测精度
多种数学分析模型：C-DLTS、I-DLTS、O-DLTS、D-DLTS、L-DLTS、DLTFS 等等
驱动电平电容分析（DLCP）测试功能
Semi-Insight Studio 软件：界面直观，操作便捷，自动化测试
应用
半导体材料研究、半导体器件优化、半导体激光器、半导体故障分析
钙钛矿太阳能电池、缺陷分析、界面层研究
基本参数规格
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脉冲发生器 |
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电压范围 |
±10V |
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电压分辨率 |
＜85μV |
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最大电流 |
±10mA |
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单脉冲宽度 |
1μs～60s |
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交流测试信号 |
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频率范围 |
1mHz～5MHz |
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频率分辨率 |
1μHz |
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电容测量 |
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电容测量范围 |
10fF～1F |
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电容测量分辨率 |
max(10fF, 0.05%) |
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滤波器时间常数 |
336ns～83s |
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电压测量 |
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电压测量范围 |
±1mV~±3V ，共 8 个量程档位可选 |
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电压测量最小分辨率 |
±15nV |
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输入阻抗 |
50Ω/10MΩ |
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电流测量 |
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电流测量范围 |
±1nA~±10mA，共 8 个量程档位可选 |
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电流测量最小分辨率 |
± 15fA |
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瞬态记录 |
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样品速率 |
1.17μs～12h |
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样品数据数量 |
1～8M |
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恒温器 |
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温度范围 |
78K～500K（标配），78K～800K（选件）， 4K～450K（选件） |
Semi-Insight Studio 软件功能
l 常规测量参数设置
l 用户测量参数可保存并调用
l 自动温度控制
l 在每个温度扫描中测试 C(T)参数
l 发射率窗自定义
l 自动分析 Arrhenius 曲线
l 傅里叶变换、拉普拉斯变换等更 高分辨率算法分析
l 集成光模块控制
l 集成 C-V 、I-V 、C-f、C-t 、I-t、 DLCP 等多种测试功能
可配选件
l OPT-01 高温选件（78K～800K）
l OPT-02 低温选件（4K～450K）
l OPT-03 分子泵选件
l OPT-04 液氦选件
l OPT-05 I-DLTS 选件
l OPT-06 D-DLTS 选件
l OPT-07 O-DLTS 选件
l OPT-08 ICTS 选件
l OPT-09 PITS 选件
l OPT-10 DLTFS 选件
l OPT-11 L-DLTFS 选件
l OPT-12 DLCP 测试选件
