LT-PSM-4K 闭循环低温（液氦）探针台
LT-PSM-4K系列低温探针台是的一款性能非常优秀的闭循环低温探针台，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供＜5K-350K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测，实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
- 产品特点
- 采用闭循环制冷，无需消耗液氦，最低温度4.5K。
- 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
- 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。
- 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。
- 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA@1V@4.5K-350K。测试温度范围宽，最大支持4.5K-350K连续变温。
- 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。
- 系统组成
- 样品座
- 探针臂
- 真空外罩&防辐射屏
- 光学系统
- 制冷机
- 特殊减震装置
- 底座和支架
- 基本参数
