Tektronix Keithley 4200A-SCS 半导体参数分析仪
4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V)
和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于 GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时
可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配
置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于 GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时
可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配
置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V源测量单元(SMU)
●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模块
●100 fA测量分辨率
●选配前端放大器提供了10 aA测量分辨率
●10 mHz - 10 Hz超低频率电容测量
●100 mF负载电容
●四象限操作
●2线或4线连接
C-V多频率电容单元(CVU)
●AC阻抗测量(C-V, C-f, C-t)
●1 kHz - 10 MHz频率范围
●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V
●选配CVIV多通道开关，在I-V测量和C-V测量之间简便切换
脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)
●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道
●200 MSa/s，5 ns采样率
●±40 V (80 V p-p)，±800 mA
●瞬态波形捕获模式
●任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
●两个高速脉冲电压源通道
●±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
●任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns可编程分辨率
I-V/C-V多通道开关模块 (CVIV)
●在I-V测量和C-V测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
●把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
●支持±210 V DC偏置源
远程前端放大器/开关模块(RPM)
●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换
●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
●降低电缆电容效应
典型应用
● 生物 FET 和传感器
● MOSFET, BJT 晶体管
● 材料表征
● 非易失性存储设备
● 电阻率系数和霍尔效应测量
● 接口陷阱密度
● 1/f 噪声测试
● NBTI/PBTI
● III-V 族器件
● 失效分析
● 纳米器件
● 二极管和 pn 联结
● 太阳能电池
● 传感器
● MEMS 器件
● 电化学
● LED 和 OLED
