LT-PSM 室温探针台
LT-PSM 是一款高品质的室温手动探针台，能够对芯片、器件以及2寸、4寸、6寸、8寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成相关电学特性测量和参数测量。其科学的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。
- 产品特点
- 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。
- 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。
- 移动样品座下面的滑台，可以实现最大X-Y轴±100mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。滑台采用磁力吸附固定。
- 最多可安装6个探针臂。
- 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
- 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内
- CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm
- 系统配置
- 样品座及滑台，尺寸可选2/4/6/8英寸
- 4个直流探针臂（可选配6个）
- 低噪音气体吸附泵
- 光学系统，最大放大倍数可达180倍，可实现3μm电极点的扎针
- 屏蔽箱（选配）
- 专用振动隔离桌
- 基本参数
- 样品座：
- 卡盘尺寸：2/4/6/8英寸，可定制
- 材质：无氧铜镀金
- 样品固定方式：多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道
- 滑台
- X-Y移动行程：2/4寸:X-Y轴±50mm，6/8寸:X-Y轴±100mm
- 读数精度：10μm
- 探针臂
- 固定方式：磁铁吸附
- XYZ微调移动行程：XYZ-13mm
- 微调可分辨精度：10μm
- 探针臂数量：最多可安装6个探针臂（左右各3个）
- 电学线缆：三同轴线缆
- 漏电流：100fA
- 探针类型：直流探针
- 光学系统
- 显微镜放大倍数：10-180倍
- 显微镜工作距离：90-100mm
- 显微镜分辨率：3μm（可选1μm）
- 光源类型：兼配同轴和环形光源
- 样品座：
