LT-8000 高分辨率深能级瞬态谱DLTS测试分析系统
- 多种缺陷测试分析方法:深能级瞬态谱(DLTS)、驱动电平电容分析(DLCP)、热导纳谱(TAS) 等
- 多种DLTS测试手段:C-DLTS、I-DLTS、O-DLTS、D-DLTS等
- tDOS计算和离子迁移率计算
- C-V、I-V、C-f、C-t、I-t等参数扫描
- 测试温度范围4K~800K,精度±100mK,适配恒温器(cryostat)和探针台(probe station)
- 标配Semi-Insight Studio软件,界面直观,操作便捷,全自动化测试
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