LT-8000 高分辨率深能级瞬态谱DLTS测试分析系统
-多种缺陷分析测试方法:深能级瞬态谱(DLTS)、驱动电平电容分析(DLCP)、等温电容瞬变谱(ICTS)和热导纳光谱(TAS)测试
-多种DLTS测试方式和数学分析模型:C-DLTS、I-DLTS、O-DLTS、D-DLTS、L-DLTS、DLTFS等
-tDOS计算(TAS和DLCP测试)
-C-V、I-V、C-f、C-t、I-t等参数扫描,自动计算内建电动势Vbi、净参杂浓度Ns等
-测试温度范围4K~800K,精度±100mK,适配恒温器(cryostat)和探针台(probe station)
-标配Semi-Insight Studio软件,界面直观,操作便捷,全自动化测试
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